閥門與切換面板的技術(shù)要求

1、減壓閥、半/全自動切換控制面板、隔膜閥的進氣口、出氣口連接宜采用 60°密封管螺紋(NPT 螺紋)或面密封接頭，60°密封管螺紋(NPT 螺紋)應(yīng)符合 GB/T 12716 的相關(guān)規(guī)定。

2、球閥、針閥、單向閥、泄壓閥的進氣口、出氣口連接宜采用 60°密封管螺紋(NPT 螺紋)、焊 接管、卡套連接，60°密封管螺紋(NPT 螺紋)應(yīng)符合 GB/T 12716 的規(guī)定，卡套連接應(yīng)符合 ASTM F1387 —19 的相關(guān)規(guī)定。

3、減壓閥、半/全自動切換控制面板、隔膜閥、球閥、針閥、單向閥、泄壓閥所有與氣體接觸的零 件應(yīng)經(jīng)過超聲波清洗，以達到去除雜質(zhì)和脫油脫脂的效果，清洗結(jié)果應(yīng)符合 ASTM G93—2011 中11.4.3 LV-C 的相關(guān)規(guī)定。

4、減壓閥、半/全自動切換控制面板、隔膜閥的進氣口側(cè)宜配置 316L 過濾網(wǎng)或過濾片，其過濾精度不低于 150 µm，以防止雜質(zhì)進入閥內(nèi)對閥座產(chǎn)生不可逆的損傷。

5、半/自動切換面板應(yīng)配置兩塊進氣壓力表，分別指示左右兩側(cè)氣源的壓力。

6、半/自動切換面板應(yīng)配置一塊出氣壓力表，指示自動切換面板的出氣壓力。

7、半/自動切換面板出氣口應(yīng)配置泄壓閥。

8、 半自動切換面板應(yīng)實現(xiàn)雙側(cè)不間斷供氣的使用要求，配置要求應(yīng)符合圖 1 的規(guī)定。

標引序號說明:

1——進氣隔膜閥；

2——排空隔膜閥；

3——左側(cè)減壓閥；

4——聯(lián)動切換組件；

5——右側(cè)減壓閥（分離式手柄或手輪）；

6——泄壓閥。 

9、全自動切換面板應(yīng)滿足全自動實現(xiàn)雙側(cè)不間斷供氣的使用要求，配置要求應(yīng)符合圖 2 的規(guī)定。

標引序號說明:

1——進氣隔膜閥；

2——排空隔膜閥；

3——減壓閥；

4——泄壓閥；

5——全自動切換器。 

10、帶吹掃功能的半自動切換面板應(yīng)滿足雙側(cè)不間斷供氣的使用要求，并提供吹掃用隔膜閥和單向 閥，配置要求應(yīng)符合圖 3 的規(guī)定。

標引序號說明：

1——進氣隔膜閥；

2——排空隔膜閥；

3——減壓閥；

4——泄壓閥；

5——聯(lián)動切換組件；

6——分離式手柄或手輪；

7——吹掃閥；

8——單向閥。 

11、半/全自動切換面板上應(yīng)包含左右兩側(cè)的進氣隔膜閥及排空隔膜閥。在更換氣源時導(dǎo)致進氣隔 膜閥前端高壓連接管內(nèi)氣體被空氣污染的情況下，打開氣源將高純氣體通入連接管，再使用排空隔膜閥 將污染氣體排空。帶吹掃功能的半自動切換面板上除左右兩側(cè)進氣隔膜閥及排空隔膜閥外，配置專用的吹掃閥和單向閥，可實現(xiàn)引入第三方氣體對半自動切換面板前端氣體管路進行吹掃。

12、 半自動切換面板正常工作時，一側(cè)為主供氣側(cè)，另一側(cè)為備供氣側(cè)。優(yōu)先從主供氣側(cè)氣源供氣，隨著主供氣側(cè)氣源壓力下降到設(shè)定值時，備供氣側(cè)自動進行供氣。當(dāng)更換主供氣側(cè)氣源時，應(yīng)手動調(diào)整分離式手柄或手輪，或聯(lián)動切換組件，使主供氣側(cè)與備供氣側(cè)進行交換，進而保證左右兩側(cè)氣源輪流供氣。

13、全自動切換面板上的自動切換功能由全自動切換器來實現(xiàn)。全自動切換器為機械結(jié)構(gòu)。隨著供氣側(cè)氣源的持續(xù)供氣，當(dāng)氣源壓力降到面板的設(shè)定值時，自動切換到另一供側(cè)進行供氣。自動實現(xiàn)左右兩側(cè)氣源輪流供氣。